一、设备的完好率
所谓的设备完好率，是在检查期间，完好设备与设备总台数的比例（设备完好率=完好设备数/设备总数）。很多实验室的指标可以达到95%以上。理由很简单，在检查的那一刻，如果设备是运转的，没出故障，就算是完好的，于是这个指标就很好看。很好看就意味着没有多少可提升的空间了，就意味着没有什么可改善的了，也就意味着很难进步了。
为此，不少实验室提出对此指标的定义进行改造，例如提出每月8日，18日，28日检查三次，取其完好率的平均值作为本月的完好率。这当然比检查一次要好，但仍然是点状反映出的完好率。
有人提出以完好的台时数比上日历工作台时数，完好台时数等于日历工作台时减去故障及其修理的总台时数。这个指标要真实多。当然又遇到统计的工作量增加和统计的真实性，遇到预防性维修台时是否扣除的争论。
二、设备的故障率
这个指标容易混淆，存在两种定义：
1.如果是故障频率则是故障次数与设备实际开动台时的比值（故障频率=故障停机次数/设备实际开动台数）；
2.如果是故障停机率，则是故障停机台时与设备实际开动台时加上故障停机台时的比值（故障停机率=故障停机台时/（设备实际开动台时+故障停机台时））；
显然，故障停机率比较能够真实的反映设备状态。
三、设备的可用率
在西方国家采用较多，而在我国有计划时间利用率(计划时间利用率=实际工作时间/计划工作时间)和日历时间利用率（日历时间利用率=实际工作时间/日历时间)两个不同提法。按照定义，西方定义的可用率实际上是日历时间利用率。日历时间利用率反映了设备的完全利用状况，也就是说即使是单班运行的设备，我们也按照24小时计算日历时间。因为无论实验室是否使用这台设备，都以折旧形式消耗着实验室的资产。计划时间利用率反映了设备的计划利用状况，如果是单班运行，其计划时间就是8小时。
四、设备的平均故障间隔期
MTBF的另外一个提法叫做平均无故障工作时间（设备平均故障间隔期=统计基期无故障运行总时间/故障次数）。它与故障停机率互补的反映了故障频次，也就是设备的健康状况。两个指标取一个就可以了，不必利用相关指标度量一个内容。
另外一个反映维修效率的指标是平均修理时间MTTR（平均修理时间=统计基期维修消耗的总时间/维修次数），它度量的是维修工作效率的改善状况。
随着设备技术进步，其复杂程度、维修难度、故障部位、维修工程师的平均技术素质以及设备役龄的不同，维修时间很难有确定的数值，但我们可以据此度量其平均状况和进步状况。
五、设备综合效率
OEE是比较全面反映设备效率的一个指标，OEE是时间开动率、性能开动率与合格品率的乘积。就像一个人，时间开动率代表出勤率，性能开动率代表上班后是否努力工作，发挥出应有的效率，合格品率代表工作的有效性，是否经常出差错，是否能够保质保量完成任务。
简单的OEE公式就是：设备综合效率OEE=合格品产量/计划工作时间的理论产量
六、完全有效生产率
TEEP是最能够彻底反映设备效率的公式而不是OEE。完全有效生产率TEEP=合格品产量/日历时间的理论产量，这一指标将设备的系统管理缺陷，包括上下游影响、市场和订单影响、设备产能不平衡、计划安排调度的不合理等不足都反映出来。这个指标一般都很低，不好看，但十分真实。
七、检修质量一次合格率
是用检修后的设备试运行一次达到产品合格标准次数比上检修次数来度量。实验室是否采用这个指标作为维修团队的绩效指标，可以研究推敲。
八、返修率
是设备检修后返修总次数比上检修总次数。这比较真实反映检修质量。
九、维修费用率
它的定义和算法很多，一种是年维修费与年度总产值比，另外一种是年维修费与当年资产总原值比，还有一种是年维修费与当年资产总重置费比，再有一种是年维修费与当年资产总净值比，最后一种是年维修费与当年生产总费用比。
设备维修是一种投入，投入是创造价值和产出的。投入不足，生产损失突出，则影响产出；当然，投入太大也不理想，称为维修过剩，是一种浪费。恰当的投入最理想。所以，实验室应该摸索和研究最佳的投入比例，生产费用高意味着订单多，任务量大，而且设备的负荷加大，对维护保养的需求也随之上升。在恰当的比例上投入是应该实验室努力追求的目标。如果有了这个基准，偏离这个指标越远就越不理想。
十、备件库存周转率
（备件库存周转率=月消耗备件费用/月平均备件库存资金）是较代表性的指标。它反映了备件的流动性。如果大量库存资金积压，则会在周转率上体现出来。反映备件管理的还有备件资金率，即全部备件资金与实验室设备总原值之比。这个数值的高低随着实验室是否在中心城市、设备是否进口，设备停机损失影响大小而不同。如果设备一天的停机损失高达几千万元，或者故障对环境污染危害严重，对人身安全危害突出，而备件供货周期较长则备件库存量就要高些，反之这个备件资金率就尽可能降低。
十一、维修培训时间强度
（维修培训时间强度=维修培训小时/维修工时）培训包括设备结构专业知识、维修技术、职业素养和维修管理等内容。这一指标反映了实验室对维修人员素养提升的重视程度、投入强度，也间接反映了维修技术能力水平。
